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產(chǎn)品名稱: VPO-300快速退火爐
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產(chǎn)品編號
19
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-
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庫存:
0
產(chǎn)品展示
參數(shù)
快速退火爐(RTP/RTA)是半導(dǎo)體材料和器件常用的一款工藝設(shè)備??焖偻嘶馉t可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環(huán)境下使用。VPO-300是一款很有特點的快速退火爐,有非常大的退火空間,適合12英寸晶圓或300mm x 300mm大尺寸樣品的熱處理。
儀器特點:
- 快速熱處理、快速熱退火 RTP / RTA;
- 可在真空、甚至于高真空環(huán)境使用;
- 加熱區(qū)域尺寸:300毫米 X 300毫米;
- 廣泛用于太陽能電池片快速退火工藝,如156mm x 156mm電池片,300mm x 300mm電池片等;
參考用戶:
中科院上海技術(shù)物理所,中國電子科技集團41所,中鋁集團,西安炬光等;
關(guān)鍵詞:
快速退火爐,RTP,快速熱處理爐,
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RTP-150快速退火爐
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